激光位移傳感器常用于長度、距離、振動、速度、方位等物理量的測量,還可用于探傷和大氣污染物的監(jiān)測等。通過測量金屬薄片(薄板)的厚度變化,可以幫助發(fā)現(xiàn)皺紋、小洞或者重疊,避免機器發(fā)生故障。
對激光位移傳感器而言,激光三角測量法適用于高精度、短距離的測量,激光回波分析法則用于遠距離測量。在當前的工業(yè)機器人應用中,通常采用三角測量法,這種方法的線性度可高達1um,分辨率可達到0.1um的水平。
激光三角法是一種由角度計算得到單點或多維的距離測量。通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面,經(jīng)物體反射的激光通過接收器鏡頭,被內(nèi)部的CCD線性相機接收,根據(jù)不同的距離,CCD線性相機可以在不同的角度下“看見”這個光點。根據(jù)這個角度及已知的激光和相機之間的距離,數(shù)字信號處理器就能計算出傳感器和被測物體之間的距離。
激光位移傳感技術特點:
1、非接觸式檢測,非接觸式可確保傳感器更長的使用壽命,并且不會損壞物體。
2、響應時間短,集成的激光束和完整的電子電路結構,使傳感器能夠快速響應,可以輕松地在高速生產(chǎn)線上使用。
3、高精度檢測,先進的光學系統(tǒng)和電子電路技術已實現(xiàn)高達0.02μm的傳感精度。
4、超小體積,結構緊湊,使得體積盡可能的小,不占空間,更易于集成使用。
在未來,以激光位移傳感器為代表的的各類激光傳感器需求總體將保持快速增長的態(tài)勢,而隨著國內(nèi)各項鼓勵政策的落實,激光技術的持續(xù)創(chuàng)新進步和激光傳感產(chǎn)品性能的不斷提升,激光傳感器的大規(guī)模商業(yè)化應用將很快成為現(xiàn)實。